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金属材料的选用

   
  

  
  互连金属化材料的要求作为一种比较理想的金属化互连材料,应具有以下几个特点:(1)导电性能好,引起的损耗小。(2)与半导体之间有良好的接触特性。(3)性能稳定。要求金属化工艺完成后,金属化材料不与硅发生化学反应,金属化的特性不受外界环境条件的影响,工作过程中金属化层的完整性不会发生变化。(4)台阶覆盖性能好。由于生产中多次进行氧化和光刻,使管芯表面不是完全平整的表面。特别是在接触窗El处,氧化层出现较大的台阶。金属化层应该能盖住管芯表面的所有台阶,防止台阶处金属化层变薄,甚至出现断条情况。(5)工艺相容。要求淀积金属时不应改变已有器件的特性,能用普通的光刻方法形成需要的金属化图形。



 


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